Napařovací zařízení VNZ 1202 / VNZ 1202K - Vakuotechnika.cz

Přejít na obsah

Napařovací zařízení VNZ 1202 / VNZ 1202K

VNZ1202TECHNICKÝ POPIS

    VNZ1202 je jednokomorové zařízení s pracovním prostorem uvnitř válcového recipientu s klenutými víky s vertikální osou. Na horním víku jsou umístěny dva průzory a příruba pro systém připouštění pracovního plynu. Pracovní prostor je přístupný po zvednutí recipientu pomocí hydraulického zařízení.
    Standardní technologické vybavení pracovního prostoru obsahuje čtyři odporové odpařovače,elektrodu vysokonapěťového výboje a rotační přípravek pro umístění substrátu. Vertikální osa přípravku má plynule regulovatelné otáčky od 0 do 5 ot/min.
    Pracovní prostor je čerpán vakuovou soustavou složenou z rotační, Rootsovy a dvou difúzních vývěv a lapačů par. Všechny prvky vakuového systému jsou vyrobeny z korozivzdorné oceli.
    Celý pracovní cyklus od spuštění zařízení, čištění výbojem, napařování a měření napařené vrstvy probíhá zcela automaticky dle zadaných parametrů pomocí mikroprocesorového řídicího systému. Technologický proces je monitorován zobrazovací jednotkou. Tím je možno dosáhnout velké přesnosti a jakosti napařené vrstvy.
    Poloautomatický provoz umožňuje řízení technologického procesu podle přímé volby obsluhy. Tento provoz je chráněn před chybnou obsluhou nebo důsledky výpadku elektrického proudu blokováním nežádoucích funkcí.
    Elektronická a silová součást zařízení je umístěna v odděleném stojanu.

FUNKČNÍ MOŽNOSTI

Programové vybavení napařovacího zařízení umožňuje:
  • plně automatický provoz čerpací jednotky ve zvoleném režimu
  • plně automatický pracovní cyklus od založení zboží až po zavzdušnění pracovního prostoru s možností jednoduché volby posloupnosti jednotlivých činností a s možností ručního zásahu ve zvolených bodech cyklu
  • čištění vsázky vysokonapěťovým výbojem
  • automatické přepínání odpařovačů v průběhu cyklu
  • napařování ze čtyř odporových odpařovačů o napětí 4 nebo 8V a max.proudu 800A ručně nebo automaticky dle zadaných hodnot
  • předžhavení a odplynění odpařovačů
  • regulaci a měření rychlosti napařování
  • regulaci a měření tloušťky napařené vrstvy
  • v základním provedení možnost napaření až dvaceti vrstev v jednom cyklu(po dohodě s výrobcem lze libovolně zvýšit)
Návrat na obsah