Recipient se těsní těsnícím kroužkem mezi zabroušené styčné plochy [5]. Pod recipientem je zdroj par [7] (vypařovaná látka) a napařovaný předmět [9]. Pohyblivá clona [8] slouží k zachycování první dávky par (většinou znečištěné). Vypařovaná látka se obvykle vkládá do kovové nebo keramické lodičky [7], zahřívané elektrickým topným tělískem, nebo přímo na vlákno z vysokotavitelného materiálu. Zahřívání se může také provádět bombardováním elektrony (elektronové dělo), popřípadě laserovým paprskem.