Vakuová napařovací aparatura - Vakuotechnika.cz

Přejít na obsah

Vakuová napařovací aparatura

Popis nákresu pracovního prostoru napařovací aparatury.

1 - recipient
2 - průzor
3 - jehlový připouštěcí ventil
4 - přívody pro ohřev lodičky
5 - příruba recipientu s těsněním
6 - deskový ventil mezi recipientem a čerpací aparaturou
7 - lodička s odpařovaným materiálem
8 - pohyblivá clona
9 - pokovovaný předmět
10 - měrka

   Napařovací aparatura se skládá ze snímatelného kovového recipientu [1] s pozorovacím průzorem [2] (u malých laboratorních aparatur může být recipient skleněný), spodního víka a čerpacího systému.

   Recipient se těsní těsnícím kroužkem mezi zabroušené styčné plochy [5]. Pod recipientem je zdroj par [7] (vypařovaná látka) a napařovaný předmět [9]. Pohyblivá clona [8] slouží k zachycování první dávky par (většinou znečištěné). Vypařovaná látka se obvykle vkládá do kovové nebo keramické lodičky [7], zahřívané elektrickým topným tělískem, nebo přímo na vlákno z vysokotavitelného materiálu. Zahřívání se může také provádět bombardováním elektrony (elektronové dělo), popřípadě laserovým paprskem.
   Současná napařovací zařízení jsou vybavena systémy na měření tloušťky napařované vrstvy, případně dalších vlastností vrstvy.
Vakuová napařovací aparatura
Návrat na obsah