Napařovací zařízení VNZ1200 - Vakuotechnika.cz

Přejít na obsah

Napařovací zařízení VNZ1200

Výroba ukončena, nahrazeno modernějším typem VNZ1202

    Vakuové napařovací zařízení VNZ1200 je určeno k nanášení tenkých vrstev na kovové i nekovové materiály v elektrotechnickém průmyslu, strojírenství a dekorativní galanterii (bižuterie, sklo, keramika a pod.)

Technický popis

    VNZ1200 je jednokomorové zařízení s pracovním prostorem uvnitř válcového recipientu s klenutými víky s vertikální osou. Na horním víku jsou umístěny dva průzory a příruba pro systém připouštění pracovního plynu. Pracovní prostor je přístupný po zvednutí recipientu pomocí hydraulického zařízení.
    Standardní technologické vybavení pracovního prostoru obsahuje čtyři odporové odpařovače, elektrodu vysokonapěťového výboje a rotační přípravek pro umístění substrátu. Vertikální osa přípravku má plynule regulovatelné otáčky od 0 do 5 ot/min.
    Pracovní prostor je čerpán vakuovou soustavou složenou z rotační, Rootsovy, dvou difúzních vývěv a lapačů par. Všechny prvky vakuového systému jsou vyrobeny z nerezové oceli.
    Celý pracovní cyklus od spuštění zařízení, čištění výbojem, napařování a měření napařené vrstvy probíhá zcela automaticky dle zadaných parametrů pomocí počítačového řídicího systému. Technologický proces je monitorován průmyslovým PC. Tím je možno dosáhnout velké přesnosti a jakosti napařené vrstvy.
    Poloautomatický provoz umožňuje řízení technologického procesu podle přímé volby obsluhy. Tento provoz je chráněn před chybnou obsluhou nebo důsledky výpadku elektrického proudu blokováním nežádoucích funkcí. Elektronická a silová součást zařízení je umístěna v odděleném stojanu.

Funkční možnosti

Programové vybavení napařovacího zařízení umožňuje:
  • plně automatický provoz čerpací jednotky ve zvoleném režimu
  • plně automatický pracovní cyklus od založení zboží až po zavzdušnění pracovního prostoru s možností jednoduché volby posloupnosti jednotlivých činností a možností ručního zásahu ve zvolených bodech cyklu
  • čištění vsázky vysokonapěťovým výbojem
  • automatické přepínání odpařovačů v průběhu cyklu
  • napařování ze čtyř odporových odpařovačů o napětí 4V a max. proudu 800A ručně nebo automaticky dle zadaných hodnot
  • předžhavení a odplynění odpařovačů
  • regulaci a měření rychlosti napařování
  • regulaci a měření tloušťky napařené vrstvy
  • v základním provedení možnost napaření až patnácti vrstev v jednom cyklu (po dohodě s výrobcem lze libovolně zvýšit)

Návrat na obsah