Rekonstrukce vakuové naprašovací aparatury TESLA UP871 - Vakuotechnika.cz

Přejít na obsah

Rekonstrukce vakuové naprašovací aparatury TESLA UP871

    Aparatura UP871 byla vyrobena podnikem TESLA Opočno na konci osmdesátých let minulého století. Byla určena pro použití při výrobě polovodičových součástek. Aparatura byla osazena kulatým magnetronem a čerpací systém vybaven turbomolekulární vývěvou z produkce firmy LEYBOLD. Automatický provoz aparatury zajišťoval počítač SAPI-1.
    V současné době je aparatura využívána pro nanášení dekorativních a jednoduchých technických vrstev.
    Pro aktuální potřeby bylo nutné aparaturu modernizovat. Modernizace spočívala v náhradě původního kulatého magnetronu za dva magnetrony obdélníkového tvaru. Výměna zdroje pro magnetron a náhrada řídícího systému na platformě SAPI-1 za moderní systém typu SoftPLC.
    Nový řídící systém typu SoftPLC, aplikován na průmyslovém PC s operačním systémem MS Windows a vybaveném dotykovou obrazovku. Jako komunikační rozhraní bylo využito osvědčených jednotek DataLab a systému ControlWeb6.1. Komunikace s PC je realizována pomocí průmyslového Ethernetu.  Řídící software umožňuje plně automatický provoz aparatury, včetně automatického naprašování.
UP871
Návrat na obsah