Vakuové napařování - Vakuotechnika.cz

Přejít na obsah

Vakuové napařování

Princip vakuového napařování

    Ohřátím materiálu v evakuovaném prostoru na příslušnou teplotu dojde ke zvětšení kinetické energie částic v jeho povrchové vrstvě na míru, kdy dojde k uvolnění atomů, případně i molekul. Ty pak vytvoří mrak, čímž dojde v ohraničeném prostoru ke vzniku rovnovážného tlaku par (tenze nasycených par).
    Pokud se v takovém systému nachází předmět s nižší teplotou (napařovaný předmět, ale i stěny pracovní komory a veškerá výbava napařovací aparatury), zkondenzuje odpařovaný materiál na jeho povrchu. Při dostatečně nízkém tlaku (menším jak 1 . 10-3 Pa při vzdálenosti do 0,5 m), se pohybují uvolněné atomy přímočaře, pokud nedojde ke srážce s jiným atomem nebo molekulou.
Návrat na obsah