Ohřátím materiálu v
evakuovaném prostoru na příslušnou teplotu dojde ke
zvětšení kinetické energie částic v jeho povrchové
vrstvě na míru, kdy dojde k uvolnění atomů, případně
i molekul. Ty pak vytvoří mrak, čímž dojde v ohraničeném
prostoru ke vzniku rovnovážného tlaku par (tenze
nasycených par). Pokud se v takovém systému nachází
předmět s nižší teplotou (napařovaný předmět,
ale i stěny pracovní komory a veškerá výbava napařovací
aparatury), zkondenzuje odpařovaný materiál na jeho
povrchu. Při dostatečně nízkém tlaku (menším jak 1
. 10-3 Pa při vzdálenosti do 0,5m), se
pohybují uvolněné atomy přímočaře, pokud nedojde
ke srážce s jiným atomem nebo molekulou.
